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晶圓生產完成后，需要對其進行各種參數的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統）是高精度，高分辨率，高穩定性的控制設備。
載物Chuck高低溫測試機主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。加熱循環系統包括循環泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環管道等組成。
DLS載物臺控溫系統采用PID控制技術，高清液晶屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
PTHC探針臺高低溫設備采用全密閉式系統設計，整個循環管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導熱油不會直接與空氣接觸，延長了導熱油使用壽命同時確保系統運行的穩定性
PTHF探針臺控溫設備采用管道式加熱冷卻，參與循環的液體非常少，制冷采用板式換熱器，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環泵內容積+循環管路容積）。
PTXF高低溫載物臺控溫設備外觀設計吸取國外進口產品的設計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側，觀察方便，風格簡約時尚，比列協調，專有的色彩搭配。
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